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硼同位素 硼11
B11硼11,半導體制造用三氟化硼氣體。三氟化硼氣體是生產高集成度、高密度微芯片的理想硅片摻雜劑。 11BF3提供了更高的效率和更高的生產吞吐量,并有助于使芯片更小更好。
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