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    產品中心 Product

    • 產品詳情
    產品名稱: 八氟環丁烷 Halocarbon C318 - Octafluorocyclobutane  C4F8
    包裝規格: 40L, 44L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT)
    充裝量: 40kg/瓶
    項目純度指標  
    八氟環丁烷 C4F899.9%99.999%
    氧氣≤80 ppmv≤1.0 ppmv
    氮氣≤300 ppmv≤3.0 ppmv
    二氧化碳≤50ppmv≤0.5ppmv
    一氧化碳≤30 ppmv≤0.5 ppmv
    甲烷≤30 ppmv≤0.5 ppmv
    水分≤10 ppmv≤3.0 ppmv
    其他有機物≤600 ppmv≤5.0 ppmv
    酸度 as HCL ≤1.0 ppmw≤0.1 ppmw

    運輸
    DOT 運輸名稱八氟環丁烷
    DOT 分類2.2
    DOT 標簽不可燃氣體
    UNUN 1976
    CAS115-25-3
    CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L
    運輸狀態液化性氣體

    技術信息
    鋼瓶狀況 @ 21.1°C 液體
    在空氣中的燃燒極限不可燃
    自然溫度 (°C )-
    分子量 (g/mol)200.03
    比重 ( 空氣 =1)7.33
    臨界溫度 ( °C )115.2

    應用
    在半導體制程中, 八氟環丁烷被用作二氧化硅和硅層的等離子蝕刻氣體。


    標簽

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