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| 產品名稱: 八氟環丁烷 Halocarbon C318 - Octafluorocyclobutane C4F8 | ||
| 包裝規格: 40L, 44L, 47L, 50L高壓鋼瓶 (GB, ISO, DOT) | ||
| 充裝量: 40kg/瓶 | ||
| 項目 | 純度指標 | |
| 八氟環丁烷 C4F8 | 99.9% | 99.999% |
| 氧氣 | ≤80 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮氣 | ≤300 ppmv | ≤3.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤50ppmv | ≤0.5ppmv |
| 一氧化碳 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 水分 | ≤10 ppmv | ≤3.0 ppmv |
| 其他有機物 | ≤600 ppmv | ≤5.0 ppmv |
| 酸度 as HCL | ≤1.0 ppmw | ≤0.1 ppmw |
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 八氟環丁烷 | |
| DOT 分類 | 2.2 | |
| DOT 標簽 | 不可燃氣體 | |
| UN | UN 1976 | |
| CAS | 115-25-3 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/716/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | |
| 自然溫度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 200.03 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 7.33 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 115.2 | |
| 應用 | ||
| 在半導體制程中， 八氟環丁烷被用作二氧化硅和硅層的等離子蝕刻氣體。 | ||
位置 ：
